反渗透专用杀菌剂对电子行业原水的预处理
水是工业生产中重要的原料之一,没有合格的水源,任何工业都不能维持下去。作为工业用水的淡水水源主要来自地表的江河水、湖泊和水库水以及底下水(井水)。
河流的水质组成 |
|||||||
成分 |
含量/(mg/L) |
||||||
珠江 |
长江 |
黄河 |
黑龙江 |
闽江 |
塔里木河 |
松花江 |
|
Ca2+ |
18.0 |
28.9 |
39.1 |
11.6 |
2.6 |
107.6 |
12.0 |
Mg2+ |
1.1 |
9.6 |
17.9 |
2.5 |
0.6 |
841.5 |
3.8 |
Na++K+ |
16.1 |
8.6 |
46.3 |
6.7 |
6.7 |
10265 |
6.8 |
HCO3- |
32.9 |
128.9 |
162.0 |
54.9 |
20.2 |
117.2 |
64.4 |
SO42- |
34.8 |
16.4 |
82.6 |
6.0 |
4.9 |
6052 |
5.9 |
Cl- |
7.3 |
4.2 |
30.0 |
2.0 |
0.5 |
14368 |
1.0 |
含盐量 |
110.2 |
193.6 |
377.9 |
83.7 |
35.5 |
31751.3 |
93.9 |
某些淡水湖泊、水库水质组成 |
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成分 |
含量/(mg/L) |
||
南湖(武汉) |
洪湖(湖北) |
立新城水库(长春) |
|
Ca2+ |
18.9 |
22.4 |
20.5 |
Mg2+ |
1.83 |
3.17 |
5.61 |
Na+ |
17.9 |
11.4 |
3.17 |
HCO3- |
70.7 |
75.3 |
79.9 |
SO42- |
15.8 |
10.3 |
5.0 |
Cl- |
13.7 |
4.55 |
7.1 |
含盐量 |
138.7 |
127.12 |
121.3 |
在半导体制作工艺中,百分之80以上的工序要经过化学处理。而每一道化学处理都离不开超纯水;如在硅片的处理工序中,一半以上的工序经过超纯水清洗后便直接进入高温处理过程,此时如果水中含有杂质便会进入硅片,造成器件性能下降成品率低。
所以对微生物的标准是很严格的,所以在原水进入反渗透系统前需要进行预处理(如下图)。
比如长江水中有机物数量庞大、种类繁多,尤其容易在反渗透膜上形成有机物污染;另一方面预处理也可能是微生物污染源,如辅助除去悬浮物的混凝剂过量,也给微生物提供了适宜的生长环境。
防止微生物污染的方法通常是采取有效的杀菌处理措施。所以还需要进行反渗透专用杀菌剂进行处理后,再到下一个工序。同时注意监测反渗透系统各环节的水中微生物总数TBC以便有效的预防,当发现有微生物污染的症状时(压差升高10%,产水量降低10%)应及时采取清洗措施以免污染加重。